管状部材のろ過精度0.1～10μm推奨流量40～60 L/min

●ろ過精度範囲が広い
固定またはパルス方式での0.1〜10μm濾過精度に対応することができる。

●高耐食性
フィルターには腐食性材料が採用されておらず、腐食や中間生成物の生成の心配はありません。

●排気特性
専用のベーキングヒーターと併用し、APIMS方式で測定した排気ガス（水分量）は1.2 ppbに達することができる。使用を続けると0.1 ppbのレベルに達することができます。フィルター内部の不純物は予め特殊洗浄方式で除去されており、排気性能がさらに優れている。

仕様：